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日本富士FUJI超聲波濃度計(jì)*超聲波在液體中非常易于傳播。超聲波在溶液中傳播的速度受溶液的濃度和溫度影響。
實(shí)時(shí)信號(hào)輸出,可以用于在線過(guò)程控制
可以和顯示器,記錄儀,電腦連接。
同時(shí)也不會(huì)對(duì)溶液造成污染,易于維護(hù)。
日本富士FUJI超聲波濃度計(jì)*
超聲波液體濃度計(jì) 單成分用
半導(dǎo)體制造程序選件
FUD-1 Model-12/1006
測(cè)量原理
超聲波在液體中非常易于傳播。
超聲波在溶液中傳播的速度受溶液的濃度和溫度影響。
「濃度變化」→ 「密度變化」→「音速變化」
本產(chǎn)品利用超聲波的特性,高精度的測(cè)量溶液的濃度。
測(cè)量「溶液的溫度」+「超聲波的速度」→通過(guò)CPU演算處理→濃度顯示
構(gòu)成図
FUD-1 Model-12
用途
CMP泥漿濃度或者CMP泥漿濃度中的H2O2的濃度測(cè)量
洗凈液濃度測(cè)量((HF、NH3、H2O2、BHF、KOH、IPA等)
稀釋裝置濃度測(cè)量(HF、NH3、H2O2、BHF、KOH、H2SO4、HCI、HNO3等)
蝕刻過(guò)程中的濃度測(cè)量(HF、H2SO4 等)
特長(zhǎng)
可根據(jù)檢量線的交換測(cè)量各種半導(dǎo)體藥液的濃度。
發(fā)信器小型、輕量,可直接在線裝置。
免保養(yǎng)設(shè)計(jì)。
接液部分全部采用(PFA)材料。
小型輸出設(shè)計(jì),對(duì)藥液沒(méi)有影響。
主要參數(shù)
形號(hào)
FUD-1 Model-12/Model-1006
測(cè)定參數(shù)
超聲波傳播速度、溫度
表示
LCD(濃度、溫度、音速/各種參數(shù))
輸出信號(hào)
模擬 DC4~20mA(可對(duì)應(yīng)濃度值自由設(shè)定)
數(shù)字 RS232C(濃度、溫度、音速。錯(cuò)誤代碼)
警報(bào) 上?上上?下?下下限 測(cè)量異常
電源
AC100V~240V 50/60Hz
構(gòu)造
配電盤(pán)支架型(DIN規(guī)格基準(zhǔn))?盤(pán)內(nèi)設(shè)置型(根據(jù)選件可做防雨型)
周邊溫度
0~50℃ RH85%以下(不結(jié)冰時(shí))
0~100℃ 特別規(guī)格 -10~160℃(100℃幅)
功能
輸出范圍設(shè)定、輸出警報(bào)設(shè)定、濃度表示移動(dòng)平均、濃度表示偏移數(shù)據(jù)以及增值設(shè)定功能、自我診斷功能、安全裝置功能、取消異常值
選件
溫度輸出(DC4~20mA)
波道
大10ch
適合發(fā)信器
Model-12:SA-20S7/SA-20S9/SA-20M5
Model-1006:SA-20S9
如有需求,請(qǐng)見(jiàn): 日本富士FUJI超聲波濃度計(jì)
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